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MTI Instruments半自動計量系統(tǒng)

發(fā)布時間：2021-07-01 17:08:13 瀏覽：1435

MTI Instruments半自動計量系統(tǒng)是一種用于半導體和半絕緣質料的臺式/臺式半主動晶圓測量體系。基于 MTII 獨有的推挽電容技術，MTI Instruments半自動計量系統(tǒng)供應完備的晶圓外貌掃描，用于厚度、厚度變更、蜿蜒、翹曲、sori、地位和整體平坦度。用戶界說且合乎 ASTM/SEMI 的掃描模式用于生產(chǎn)完備的 3 維 (3D) 晶圓圖像。

MTI Instruments半自動計量系統(tǒng)定制的數(shù)據(jù)匯報可用于稽查測量的每個晶片的表格數(shù)據(jù)，并疾速、放松地導出到您的電子表格法式。

晶圓規(guī)格直徑： 150 毫米、200 毫米、300 毫米；

質料：全部半導體和半絕緣晶片，包含 Si、GaAs、Ge、SiC、InP；

外貌：切割、研磨、蝕刻、拋光、圖案化；

平頭/缺口：全部 SEMI 規(guī)范平頭或缺口；

電導率： P 或 N 型；

半自動計量系統(tǒng).png

特性

怪異的 MTI 電容傳感器，具有雋拔的精確性和可重疊性；

完備的 1000 μm 厚度測量局限，無需從新校準；

測量厚度、TTV、蜿蜒度、翹曲度和地位以及整體平坦度的Windows ?用戶界面；

ASTM 規(guī)范測量；

SEMI S2-0200 健康和安全合規(guī)計劃；

SEMI S8-0999 合乎人體工程學的計劃；

測量全部質料，包含 Si、GaAs、Ge、InP、SiC ***只有體電阻率小于 20K Ohm/cm；

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	規(guī)格	范圍	準確性
厚度	ASTM F533	+/- 500 微米	+/- 0.25 微米
電視	ASTM F657	+/- 500 微米	+/- 0.25 微米
弓	ASTM F534	+/- 250 微米	+/- 2.0 微米
經(jīng)	ASTM F1390	+/- 250 微米	+/- 2.0 微米
索里	ASTM F1451	+/- 250 微米	+/- 2.0 微米
平整度（現(xiàn)場）	ASTM F1530	8 毫米 *	+/- 0.15 微米
平整度（全球）	ASTM F1530	8 毫米 *	+/- 0.15 微米

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